烧结温度对放电等离子烧结法制备IGZO靶材 的影响研究

doi:10.3969/j.issn.0253-6099.2016.01.029

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矿冶工程 ›› 2016, Vol. 36 ›› Issue (1) : 114-116. DOI: 10.3969/j.issn.0253-6099.2016.01.029

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烧结温度对放电等离子烧结法制备IGZO靶材的影响研究

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Effects of Sintering Temperature on IGZO Targets Prepared by Spark Plasma Sintering

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收稿日期	出版日期
2015-09-21	2016-02-25
发布日期
2016-02-25

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