热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析

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矿冶工程 ›› 1998, Vol. 18 ›› Issue (3) : 67-69.

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热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析

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INTRINSIC STRESS IN DIAMOND FILM GROWTH BY HOT-FILAMENT CVD

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