热丝CVD 法制备大面积高质量金刚石薄膜

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程彬吉, 杨国文, 陈继平, 高德耀, 袁凤池

PREPARATION OF LARGE AREA DIAMOND FILMS OF HIGH QUALITY USING HOT-FILAMENT CVD METHOD

CHENG Bin-ji, YANY Guo-wen, CHEN Ji-ping, GAO De-y ao, YUAN Feng-chi

矿冶工程 . 1999, (2): 63 -65 .