国产ITO靶材的镀膜工艺研究
彭传才, 黄广连, 胡云慧, 曹志刚, 余圣发, 魏敏, 易可可, 姚吉升, 唐三川, 陈坚
STUDIES ON FILM-PLATING PROCESS OF DOMESTIC ITO TARGET
Peng Chuancai, Huang Guanglian, Hu Yunhui, Cao Zhigang, Yu Sheng fa, Wei Min, Yi Keke, Yao Jisheng, Tang Sanchuan, Chen Jian
矿冶工程
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1998, (3): 61
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