碳化硅超高温合成炉深部温度测试技术研究

doi:10.3969/j.issn.0253-6099.2014.02.027

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矿冶工程 ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (2) : 101-103. DOI: 10.3969/j.issn.0253-6099.2014.02.027

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碳化硅超高温合成炉深部温度测试技术研究

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Study on Measurement Technique for Inner Temperature of SiC Ultra-high-temperature Synthesis Furnace

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收稿日期	出版日期
2013-11-18	2014-04-25
发布日期
2014-04-25

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