DND@CeO<sub>2</sub>核壳型磨料的制备及其在蓝宝石表面的抛光机理研究

doi:10.3969/j.issn.0253-6099.2021.02.028

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矿冶工程 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (2) : 115-120. DOI: 10.3969/j.issn.0253-6099.2021.02.028

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DND@CeO₂核壳型磨料的制备及其在蓝宝石表面的抛光机理研究

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Preparation of DND@CeO₂ Core-Shell Abrasives and Their Chemical Mechanical Polishing Performances on Sapphire Wafers

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收稿日期	出版日期
2020-10-27	2021-04-25
发布日期
2021-04-25

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