模压成型压力对氧化铟锡(ITO)靶材性能影响研究

姜峰, 谭泽旦, 黄誓成, 方志杰, 陆映东, 覃立仁, 王永清, 曾纪术

矿冶工程 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (1) : 134-137.

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矿冶工程 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (1) : 134-137. DOI: 10.3969/j.issn.0253-6099.2024.01.029
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模压成型压力对氧化铟锡(ITO)靶材性能影响研究

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Effects of Molding Pressure on Properties of Indium Tin Oxide (ITO) Sputtering Target

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