影响CMP用纳米Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 磨粒粒度均一性的因素及其机理

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矿冶工程 ›› 2002, Vol. 22 ›› Issue (1) : 42-45.

选矿

影响CMP用纳米Al₂O₃ 磨粒粒度均一性的因素及其机理

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Factors and Mechanisms Influencing Granularity Uniformity of Nano-sized γ-Al₂O₃ Abrasives for preparing CMP

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