影响CMP用纳米Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 磨粒粒度均一性的因素及其机理

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何捍卫, 胡岳华, 黄可龙, 徐竞

Factors and Mechanisms Influencing Granularity Uniformity of Nano-sized γ-Al₂O₃ Abrasives for preparing CMP

HE Han-wei, HU Yue-hua, HUANG Ke-long, XU Jing

矿冶工程 . 2002, (1): 42 -45 .