热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析
赵南方, 杨巧勤, 赵立华, 李德意, 肖汉宁
INTRINSIC STRESS IN DIAMOND FILM GROWTH BY HOT-FILAMENT CVD
Zhao Nanfang, Yang Qiaoquin, Zhao Lihua, Li Deyi, Xiao Hanning
矿冶工程 . 1998, (3): 67 -69 . 

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